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      全自動激光焊接機(jī)早在20世紀(jì)90年代初就開始此項研究，已經(jīng)取得很大進(jìn)展。國內(nèi)起步相對較晚，但是發(fā)展很快，主要研究單位包括中科院半導(dǎo)體所、上海光機(jī)所、長春光機(jī)所、清華大學(xué)、中電集團(tuán)十三所、中科院光電技術(shù)研究所和西安電子科技大學(xué)等。

      中科院半導(dǎo)體所等單位采用的是光纖捆綁耦合技術(shù)進(jìn)行光束整形。先用一根光纖柱透鏡進(jìn)行快軸壓縮，然后進(jìn)入與發(fā)光區(qū)相對應(yīng)的嚴(yán)格周期分布的光纖排，最后把輸出的多根光纖捆成一束。這種方法可以簡便地實現(xiàn)LD線陣輸出光場的對稱化，且光束經(jīng)過一段距離的光纖傳輸后在輸出截面上的強(qiáng)度得到均勻化，傳輸過程中的光能損失也很小，缺點是輸出光纖芯徑粗，亮度不高。

       2001年，吉林大學(xué)和長春光學(xué)精密機(jī)械學(xué)院用這種方法對10單元線陣半導(dǎo)體全自動激光焊接機(jī)條進(jìn)行了光纖耦合實驗，耦合效率為75%。2003年，中科院半導(dǎo)體所利用這種技術(shù)實現(xiàn)了60 W 的大功率輸出，耦合效率為82% ，輸出光纖為1.5 mm，數(shù)值孔徑為0.11，現(xiàn)已實現(xiàn)小批量生產(chǎn)。

      中科院光電技術(shù)研究所采用微柱透鏡快軸準(zhǔn)直并引起光束微偏轉(zhuǎn)、消色差的雙膠合透鏡偏轉(zhuǎn)光束、閃耀光柵陣列反偏并校正光束的方法進(jìn)行光束整形，整形效果較好，得到了快慢軸方向比較均衡的光束質(zhì)量，并能耦合進(jìn)芯徑200 mm、數(shù)值孔徑0.22的光纖，但是整個系統(tǒng)由折射和衍射器件共同構(gòu)成，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，耦合效率不高。

      清華大學(xué)采用等腰直角棱鏡組方法，整形系統(tǒng)由兩套錯位緊密排列的等腰直角棱鏡組組合而成。對808 nm輸出功率40 w 的半導(dǎo)體激光焊接機(jī)列陣進(jìn)行了光束整形，整形系統(tǒng)的功率效率為90%。整形前的慢軸、快軸光束質(zhì)量參數(shù)比值為2 499，整形后為0.77。

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